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HVA 闭合回路闸阀 21800系列
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HVA 闭合回路闸阀 21800系列

21800系列闭合回路真空节流阀

21800系列闭合回路气动节流闸阀节流阀利用标准的 HVA21200系列真空阀门设计外加一个金属节流调节装置. 这个节流调节装置包括了一个MKS 146C 真空规格测量和控制系统、欧姆龙模拟型光纤传感器和放大器、一个气动压力控制器和一个超大尺寸的 HVA 专利压差执行装置. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样?#21496;头?#24120;有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 所有移动的?#27833;?#37117;有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易. 这个系统在一个闭合回路?#22411;?#36807;监测阀门的?#23548;?#20301;置和系统的压力和电导来操作。在压力/电导模式下, 这个真空阀门开启或者关闭直到MKS流量或压力表监控到需要的系统达到气流量. 除了控制阀门, MKS 控制器可以监控两个计量表. 在真实位置模式, 阀门驱动器活塞式被欧姆龙传感器监控的. 传感器信?#27431;?#36865;到 MKS 控制器, 然后相应的与所需要的阀位到启动压力控制器. 压力控制器控制压差适用于控制活塞?#20945;?#35201;求的方向移动.

 

21800系列闭合回路真空节流阀产品特点

1. 专利的节流控制机构可以无限的从全开到全关变化

2. 不锈钢焊接波纹管

3. 标准或者定?#21697;?#20848;

4. 1000000使用周期(视系统而定)

 

21800系列闭合回路真空节流阀技术参数

连?#26377;?#24335;:

标准或定?#21697;?#20848;

主体材料:

不锈钢

公称通径:

DN100-DN300 mm

漏率:

2x10E-10 AtmCC/Sec

压力范围: 

1x10E-10 Torr

烘烤温度:

《150℃

适用介质:

水、蒸汽、空气

密封形式:

软密封型

驱动方式:

气动

使用寿命:

1000000使用周期

21800系列闭合回路真空节流阀产品应用

这些真空闸阀节流阀可以和低温泵,?#26032;?#20998;子泵,离子泵或者其他要求清洁,高效循环,少量维修保养和紧闭关闭的低漏气阀门.

 

21800系列闭合回路真空节流阀产品部件图

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