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HVA 真空闸阀 31200 系列
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HVA 真空闸阀 31200 系列


31200 系列百万周期长寿命真空闸阀

31200 系列真空闸阀有个正面的开关, 这种阀门真空闸阀能够在随压力下降而电力丢失的情况下保持关闭的状态. 真空闸阀直线驱动?#24066;?#20351;用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样?#21496;头?#24120;有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 真空闸阀所有移动的?#27833;?#37117;有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易. HVA 真空闸阀不锈钢阀体提供了真空阀门业最小的内部表面区域. 阀体和所有主要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了最大的完整性. 这就消除了虚漏和缺陷部分, 使在常规状态下焊接出现的阀体变形的可能最小化了. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系?#25345;?#25286;?#20923;?#26469;.

 

31200 系列百万周期长寿命真空闸阀特点

1. 硬化不锈?#31181;?#39537;动轴和驱动销

2. 气动驱动

3. 不锈钢焊接波纹管

4. 标准或定?#21697;?#20848;

5. 电磁阀控制并带有手动操控

 

31200 系列百万周期长寿命真空闸阀技术参数

连?#26377;?#24335;:

标准或定?#21697;?#20848;

主体材料:

304 不锈钢

公称通径:

DN16-DN600 mm

漏率:

2x10E-10 AtmCC/Sec

压力范围: 

1x10E-9 Torr

烘烤温度:

《200℃

适用介质:

水、蒸汽、空气

密封形式:

软密封型

驱动方式:

电动气动

使用寿命:

1000000 启闭次数

 

31200 系列百万周期长寿命真空闸阀应用

这些真空闸阀可以和低温泵,?#26032;?#20998;子泵,离子泵或者其他要求清洁,高效循环,少量维修保养和紧闭关闭的低漏气阀门.

 

31200 系列百万周期长寿命真空闸阀部件图

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