浙江快乐彩12开奖结果走势图
上海伯东真空产品事业部搬迁通知

KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
阅读数: 3596

KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列, 加热灯丝产生电子, 是典型的考夫曼型离子源, 增?#21487;?#35745;输出高质量,稳定的电子流.
美国 KRI 考夫曼公司新升级 Gridded KDC 系列离子源, 新的特性包含自对准离子光学和开关式电源控制. 考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 考夫曼离子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼离子源, 电子中和器, 电源供应器等等可以直接整?#26174;?#21508;类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:
通过加热灯丝产生电子
低电流高能量宽束型离子源

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:
辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
溅镀&蒸镀 PC
表面改性, 激活 SM
沉积 DD
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
 

美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

型号

KDC10

KDC40

KDC75

KDC100

KDC160

电压

DC magnetic confinement

 - 阴极灯丝

1

1

2

2

2

 - 阳极电压

0-100V DC

电子束

电子束

 - 栅极

专用,自对准

 - 栅极?#26412;?/p>

1 cm

4 cm

7.5 cm

12 cm

16 cm

中和器

灯丝

灯丝

灯丝

灯丝

灯丝

电源控制

KSC 1202

KSC 1202

KSC 1212
或 KSC 1202

KSC 1212

KSC 1212

配置

-

 - 阴极中和器

LFN 1000

LFN 1000

LFN 2000

LFN 2000

LFN 2000

 - 高度

4.5'

6.75'

7.9'

9.25'

9.92'

 - ?#26412;?/p>

1.52'

3.5'

5.5'

7.6'

9.1"

 - 离子束方向

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

聚焦
平行
散设

 -加工材料

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

金属
电介质
半导体

 -工艺气体

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

惰性
活性
混合

 -安装

2-12”

6-18”

6-24”

8-36”

8-45”

 

 

其他产品
浙江快乐彩12开奖结果走势图 5月6日巴萨vs西班牙人 天津时时彩走势图 萨索洛米兰首发 柔佛dt对山东鲁能直播 丧尸来袭电影在线视频 乌迪内斯vs热那亚 莱万特对马竞 多玩魔兽世界 多特蒙德桑乔 川崎前锋vs广岛三箭