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DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M
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DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M

德国 DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M
Dresden ECRIS-2.45M 离子源是一种产生低电荷单粒子的电子回旋共振离子源, 根据离子种类, 离子束范围 10 微安到几毫安.

德国 DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M 技术资料

功率

200W

最大电子能量

30 kV, 10 mA

extraction potential

6 kV, 50 mA

lens potential

30 kV, 10 mA

长度

460 mm

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340 mm

重量

35 kg

beamline flange

DN 160 CF

电力消耗

2 kW

冷却

风冷, 不需要水冷

真空条件

5X10-8 mbar (1X10-5 mbar with working gas)

 

DREEBIT 离子源谱图 

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